CI-PC62 시리즈 미량 수분 분석기
모델: CI-PC62
CI-PC62 시리즈는 미량 수분 분석 및 검출을 위한 고급 전문 계측기입니다. 본 분석기는 광학 원리를 적용하여 시료 가스 내 해당 가스 성분을 분석하고, 그에 상응하는 흡수 스펙트럼을 생성합니다. 이 흡수 스펙트럼을 분석 및 연산하여 최종적으로 시료 가스 내 목표 가스의 농도 신호를 출력합니다. TDLAS(파장 가변 다이오드 레이저 흡수 분광법) 원리를 채택하여 높은 측정 정확도, 빠른 응답(T90 < 20s), 0.1ppb 검출 하한의 고감도를 실현하였으며, 우수한 안정성과 신뢰성을 동시에 제공합니다.
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제품 개요
CI-PC62 시리즈는 미량 수분 분석 및 검출을 위한 전문 고급 계측기입니다. TDLAS(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy, 파장 가변 다이오드 레이저 흡수 분광법) 원리를 기반으로 샘플 가스 내 해당 가스 성분의 흡수 스펙트럼을 분석합니다. 생성된 흡수 스펙트럼의 정밀 분석 및 계산을 통해 목표 가스의 농도 신호를 고정확도로 출력합니다.
측정 원리
광학 원리를 활용하여 샘플 가스 내 목표 성분의 고유 흡수 파장 대역을 탐지합니다. 레이저 광원이 가스 셀을 통과하면서 특정 파장에서 발생하는 흡수량을 실시간으로 측정하고, Beer-Lambert 법칙에 따라 농도를 정량화합니다. 이 방식은 다른 가스 성분의 간섭 없이 높은 선택성을 보장합니다.
주요 장점
- 초고감도: 0.1 ppb 수준의 검출 하한으로 극미량 수분까지 정확히 측정
- 빠른 응답: T90 < 20초의 응답 속도로 실시간 공정 모니터링에 적합
- 높은 안정성: 장기간 무보정 운전이 가능한 뛰어난 안정성과 신뢰성
- 넓은 호환성: N2, He, Ar, O2, CO, CO2, Ne, SF6, NF3, CF4, C2F6, C3F8, C4F6, C4F8, Cl2, HCL, HBr 등 다양한 배경 가스에서 사용 가능
- 맞춤 설정: 고객 요구에 따라 측정 가스 종류, 범위, 배경 가스 조합을 유연하게 구성
제품 특징
1. TDLAS 기반 고정밀 측정
TDLAS(파장 가변 다이오드 레이저 흡수 분광법) 원리를 적용하여 높은 측정 정확도, 빠른 응답, 고감도는 물론 우수한 안정성과 신뢰성을 동시에 제공합니다. 간섭 가스의 영향을 최소화하여 정확한 측정 결과를 보장합니다.
2. 직관적 OLED 디스플레이
128×64 고해상도 OLED 디스플레이를 탑재하여 농도값, 메뉴, 데이터, 기기 동작 상태를 직관적으로 표시합니다. 별도의 외부 장치 없이도 현장에서 즉시 측정 결과 및 시스템 상태를 확인할 수 있습니다.
3. 지능형 알람 시스템
산소 농도가 전체 범위 내에서 사용자가 임의로 설정한 알람값을 벗어나면 즉시 알람이 트리거됩니다. 알람 설정값은 풀스케일 범위 내에서 자유롭게 조정할 수 있어 다양한 공정 조건에 유연하게 대응합니다.
4. 다중 통신 인터페이스
양방향 RS485(표준) / RS232(선택) 통신을 지원하여 컴퓨터, PLC, DCS 또는 기타 디지털 통신 장치에 직접 연결할 수 있습니다. 원격 모니터링 및 데이터 로깅 시스템과의 원활한 통합이 가능합니다.
5. 산업 현장 최적화 설계
- -20°C ~ +50°C 넓은 사용 온도 범위
- AC100~240V 전원 호환 (글로벌 사용 가능)
- 1/4인치 VCR 수 커넥터 (산업 표준 연결부)
- 컴팩트한 설계로 제한된 공간에서도 설치 가능
기술 사양
기본 사양
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 측정 범위 | 0 ~ 20 ppm |
| 직선성 오차 | ±1% FS |
| 반복성 | ±0.1% FS |
| 응답 시간 | T90 < 20s |
| 검출 하한 | 0.1 ppb |
| 사용 온도 | -20 ~ +50°C |
| 전원 공급 | AC100 ~ 240V |
| 가스 입·출구 | 1/4인치 VCR 수 커넥터 |
호환 배경 가스: N2, He, Ar, O2, CO, CO2, Ne, SF6, NF3, CF4, C2F6, C3F8, C4F6, C4F8, Cl2, HCL, HBr
PC68 측정 성분 사양
| 가스 | 검출 하한 | 측정 범위 | 모델 코드 |
|---|---|---|---|
| O2 | 0.10% | 0～99.9%Vol. | A |
| CO2 | 0.05% | 0～2.00%Vol. | B |
| CO2 | 0.10% | 0～99.9%Vol. | B |
| CO | 0.01% | 0～1.00%Vol. | C |
| CO | 0.10% | 0～99.9%Vol. | C |
| CO/CO2 | 0.10% | 0～99.9%Vol. | D |
| CH4 | 0.01% | 0～1.00%Vol. | E |
| CH4 | 0.10% | 0～10.00%Vol. | E |
| CH4 | 0.10% | 0～50.0%Vol. | E |
| C2H2 | 0.01% | 0～1.00%Vol. | F |
| C2H2 | 0.10% | 0～50.0%Vol. | F |
| C2H4 | 0.01% | 0～1.00%Vol. | G |
| C2H4 | 0.10% | 0～50.0%Vol. | G |
| C2H6 | 0.01% | 0～1.00%Vol. | H |
| C2H6 | 0.10% | 0～50.0%Vol. | H |
| H2 | 1.00% | 0～99.9%Vol. | I |
| HF | 0.01% | 0～1.000%Vol. | J |
| H2O | 0.01% | 0～1.000%Vol. | K |
| H2O | 0.10% | 0～40.0%Vol. | K |
| H2S | 1.00% | 0～99.9%Vol. | L |
| HCL | 0.01% | 0～1.00%Vol. | M |
| NH3 | 0.01% | 0～1.00%Vol. | N |
| NH3 | 0.10% | 0～10.00%Vol. | N |
| HCN | 0.10% | 0～5.0%Vol. | O |
| C2H4O | 0.10% | 0～10.0%Vol. | P |
PC65x 측정 성분 사양
| 가스 | 최소 범위 | 최대 범위 | 모델 코드 |
|---|---|---|---|
| O2 | 0～1.00%Vol. | 0～99.99%Vol. | A |
| CO2 | 0～1.00%Vol. | 0～99.99%Vol. | B |
| CO | 0～8000ppm | 0～2.00%Vol. | C |
| CO/CO2 | 0～10.00%Vol. | 0～99.99%Vol. | D |
| CH4 | 0～100ppm | 0～99.99%Vol. | E |
| C2H2 | 0～1000ppm | 0～50.00%Vol. | F |
| C2H4 | 0～1000ppm | 0～50.00%Vol. | G |
| C2H6 | 0～1000ppm | 0～50.00%Vol. | H |
| H2 | 0～5.00%Vol. | 0～99.99%Vol. | I |
| HF | 0～10ppm | 0～1000ppm | J |
| H2O | 0～100ppm | 0～40.00%Vol. | K |
| H2S | 0～500ppm | 0～10000ppm | L |
| HCL | 0～100ppm | 0～1000ppm | M |
| NH3 | 0～100ppm | 0～10.00%Vol. | N |
| HCN | 0～10ppm | 0～1.00%Vol. | O |
| C2H4O | 0～500ppm | 0～10.00%Vol. | P |
| SO2 | 0～300ppm | 0～2000ppm | Q |
| NO | 0～50ppm | 0～2000ppm | R |
참고사항
- 상기 사양은 일부 측정 가스에 대한 것이며, 기타 가스는 사용자 요구에 따라 맞춤 설정이 가능합니다.
- 특정 측정 범위는 고객 요구사항에 따라 설정할 수 있습니다.
- 측정 가스 온도는 0～120℃ 범위에서 선택 가능하며, 표준 모델의 측정 가스 온도 범위는 0～40℃입니다.
- 표의 최소 및 최대 농도 범위는 1m 측정 광경로(연도/공정 배관) 기준입니다.
적용 분야
반도체 및 전자산업
반도체 제조 공정에서 사용되는 고순도 가스(N2, Ar, He 등)의 미량 수분 함량을 실시간으로 모니터링합니다. 웨이퍼 산화 방지 및 공정 품질 관리에 핵심적인 역할을 합니다.
고순도 가스 산업
산업용·의료용·전자용 고순도 가스 생산 및 충전 공정에서 수분 불순물을 정밀 관리합니다.
석유화학 및 화학 제조
석유 정제, 화학 반응 공정, 촉매 보호 등에서 수분 함량 모니터링을 통한 공정 최적화 및 설비 보호에 활용됩니다.
항공우주 공학
로켓 추진체, 극저온 시스템, 고진공 환경에서의 미량 수분 관리에 적용됩니다.
환경 및 에너지
바이오가스, 매립지 가스, 연도 가스 분석 등 환경 모니터링 분야에서 수분 측정에 활용됩니다.
제약 및 식품 산업
발효 공정 모니터링, 바이오리액터, 퇴비화 처리, 가스 발생 공정, 자동 불활성화 시스템, 용매 탱크 관리, 화학/제약 반응 모니터링에 적용됩니다.
기상 예보 및 연구
대기 중 수분 함량의 정밀 측정을 통한 기상 관측 및 연구 분야에 활용됩니다.
